- 行程范圍：X軸------500mmY軸-----400 mmZ軸------400 mmT軸------360° （可選）
- 傳動方式：（德國）高精密光杠+空氣軸承+（日本）伺服電機(jī)
- 反饋系統(tǒng)：RENISHAW（雷尼紹）開放式光柵尺，分辨率為0.001 mm
- 控制方式：高速PCI 四軸運(yùn)動控制卡
- 圖像采集系統(tǒng)（可選）：（比利時）Euresys 高速圖像采集卡+（日本）精工鏡頭+ 低照度高分辨率CCDX、Y、Z軸的直線度：≤0.005mmX、Y、Z軸的定位精度：≤±（2+L/250）μm
- 機(jī)臺：高精度花崗巖平臺
- 使用環(huán)境：溫度≤85℃，濕度≤95℃
- 整機(jī)尺寸：1.2 m X 1.4 m X 2.2 m
- 整機(jī)重量：850 kg
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